一般來說，消毒劑對于人體是有不利影響的，比如臭氧，達到一定濃度，會麻痹神經，致幻。所以，在潔凈室使用臭氧消毒時，需要對臨近的區(qū)域實施同步的監(jiān)控與管理，對于臭氧消毒操作來說，需要EHS人員的同步參與。

     一個完整的潔凈室臭氧消毒過程，大致應該是這樣的：

1：儀器準備：溫濕度計和臭氧濃度測試儀。消毒過程中需要監(jiān)測每臺空調回風主管的濕度和臭氧濃度。

2：設備準備：打開冷卻水的進、出口閥門，臭氧發(fā)生器的壓縮空氣閥打開且壓力值正常要求范圍內，插入開關鑰匙，點擊啟動按鈕后“啟動”指示燈點亮，此時，臭氧發(fā)生器沒有報警輸出。

3：清場確認：設備啟動前在消毒區(qū)域外沿使用警示帶圍閉，粘貼警示標識，并對對消毒區(qū)域進行人員清場。

4：封閉消毒區(qū)域出口（傳送帶，物料門等）。開啟供臭氧主管的保護罩，打開臭氧供氣主管閥門。確認每臺空調送風管上臭氧供氣管手閥處于打開狀態(tài)，并確認系統(tǒng)正常。

5：封閉所有人流物流，對臭氧消毒區(qū)域進行再次清場確認。開啟臭氧機開始發(fā)送臭氧至各個空調的送風管，關閉新風閥門。臭氧濃度檢測儀反饋數(shù)值達到設置值時，開始計時，維持臭氧濃度在要求范圍內，維持經驗證的時間，并每隔指定時間對濕度計和臭氧濃度測試儀進行讀數(shù)并記錄回風濕度和臭氧濃度，進行消毒過程記錄。

6：完成消毒后，打開排風閥，停止臭氧機，打開新風閥門，關閉回風閥，進入稀釋階段，稀釋指定的驗證時間。稀釋階段結束后，操作人員帶防毒面罩（防臭氧專用），攜手持式濃度測試儀對每個房間進行濃度確認，若所有房間內臭氧濃度均低于要求水平時，確認整個消毒過程結束，房間可以放行用于其它用途，若有房間內臭氧濃度高于要求水平則操作人員退出，重新進行稀釋流程。