一、亂流式潔凈室
亂流式,即空氣由空調(diào)風(fēng)柜經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)的高效空氣過濾器進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)循環(huán)。氣流組織不是直線型運動,而呈不規(guī)則的亂流或渦流狀態(tài)。此類氣流組織適用于潔凈度等級1,000-100,000級的實驗室。
其優(yōu)點是:構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場所,通過室內(nèi)的超凈工作臺,提高潔凈室工作操作場所潔凈等級。缺點:亂流造成的微塵粒子在室內(nèi)空間飄浮,不易排出,易污染生產(chǎn)中的產(chǎn)品。另外,若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再重新啟動,恢復(fù)到需求的潔凈度,往往須耗時一段自凈時間。
二、層流式潔凈室
層流式,即空氣氣流運動成一均勻的直線形,空氣由覆蓋率100%的高效過濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此類氣流組織適用于潔凈室等級較高的凈化環(huán)境使用,一般應(yīng)用潔凈度等級為Class1-100。
再細(xì)分,層流式分為二種:1、水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點:構(gòu)造簡單,運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點:建造費用比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
2、垂直層流式:房間天花板完全以超高效過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可獲得較高的潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝?/span>,而不會影響其它工作區(qū)域。優(yōu)點:管理容易,運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。缺點:構(gòu)造費用較高,彈性運用空間困難,天花板的吊架相當(dāng)占空間,維修更換過濾器較麻煩。
3、復(fù)合式:復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈的空氣。包括以下三種形式的復(fù)合氣流潔凈空間:
①潔凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將工作區(qū)域100%覆蓋,使該區(qū)域內(nèi)的潔凈度等級提高至10級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此形式需將作業(yè)人員的工作區(qū)與產(chǎn)品機(jī)器維修區(qū)予以物理隔離,以避免機(jī)器維修時影響了生產(chǎn)工作及品質(zhì),潔凈隧道另有二項優(yōu)點:彈性擴(kuò)充容易;維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
②潔凈管道:將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并進(jìn)行空氣凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量的送風(fēng)即可得到良好的潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用,藥品、食品及半導(dǎo)體微電子制造業(yè)均適用。
③并裝局部潔凈室:將潔凈室等級10,000~100,000的亂流潔凈室內(nèi)局部產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,作為生產(chǎn)用途;例如潔凈工作臺、潔凈工作棚即屬此類。