? ? ? 100級(jí)的潔凈室，是室內(nèi)環(huán)境的污染顆粒物的控制較高，凈化空調(diào)的組合宜采用PAHU+AHU+FFU 的空調(diào)方式，其中：PAHU 為新風(fēng)處理機(jī)組，AHU 為空氣處理機(jī)組，F(xiàn)FU為帶風(fēng)機(jī)的高效過(guò)濾器系統(tǒng)中加 PAHU，潔凈室正壓由 PAHU 風(fēng)機(jī)馬達(dá)變頻控制，同時(shí)使室外環(huán)境的變化對(duì)潔凈室的影響減小，對(duì)潔凈室的溫、濕度控制有利。

? ? ? 每個(gè)車(chē)間均為獨(dú)立空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)機(jī)組 AHU 將從室內(nèi)抽回的回風(fēng)與新風(fēng)機(jī)組 PAHU 處理過(guò)的新風(fēng)混合，經(jīng)過(guò)風(fēng)柜的過(guò)濾段、冷卻段、加濕段等處理后，送至潔凈室天花板上的空間，再與由回風(fēng)技術(shù)夾墻回到天花板上的室內(nèi)空氣混合經(jīng) FFU 送到室內(nèi)空間，生產(chǎn)設(shè)備的局部排風(fēng)由排風(fēng)機(jī)排至室外。

? ? ? 潔凈室氣流組織為上送下回單向流，天花上基本布滿 FFU 送風(fēng)，地板采用開(kāi)孔率為 18%的架空地板，部分地板有調(diào)節(jié)閥，以調(diào)節(jié)氣流的流型。