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旗興-態(tài)度決定高度,境界成就凈界

半導體凈化潔凈室設計---黃光區(qū)

返回列表 來源: 發(fā)布日期: 2023.08.02


半導體凈化潔凈室是半導體工業(yè)中必不可少的一種控制環(huán)境的手段,它通過控制潔凈室內的溫度、濕度、壓力、潔凈度和噪音等多個因素,來滿足潔凈室中工作的半導體制造過程對環(huán)境的苛刻要求。

其中,黃光區(qū)是半導體凈化潔凈室中一個十分重要的部分。 什么是半導體凈化潔凈室黃光區(qū)? 黃光區(qū)是一種光學工藝流程區(qū),其主要作用是印刷電子成像時生成圖形模板。在黃光區(qū),該區(qū)域內使用的光刻膠或安全色膜會遮擋掉不需要的部分,這使得底部的基板表面不會接受曝光。此后光學工藝就要將基板送至洗滌區(qū),用洗滌劑去除光刻膠,使它們留在所需的區(qū)域上,再用另一種化學方法,對未經(jīng)處理的區(qū)域進行保護和處理,從而保持最終的半導體芯片模板。

黃光區(qū)是半導體制造中非常關鍵的制程,需要極其精微控制的環(huán)境支持。在黃光區(qū)中作業(yè)通常達到潔凈度等級百級、千級為條件,才能符合工藝工作的需求。在這種條件下,必須使黃光區(qū)內空氣的微塵和揮發(fā)物質被迅速循環(huán)帶走過濾凈化,以保證產(chǎn)品生產(chǎn)流程的的穩(wěn)定。

半導體凈化潔凈室黃光區(qū)設計要注意哪些因素? 在半導體凈化潔凈室黃光區(qū)的設計中,需要注意的因素很多。首先,在黃光區(qū)的設計中必須考慮光源光強度的穩(wěn)定性和一致性,以保證不同區(qū)域的曝光量一致,從而使芯片制造更加準確和穩(wěn)定。 其次,對于黃光區(qū)潔凈度要求,根據(jù)具體需要,采用合理安全的均勻送回風循環(huán)方式,使用特殊的送風回風設施、多級空氣過濾器、廢氣排風凈化系統(tǒng)的支持,在其內部設置更衣風淋消毒區(qū)以保持人流物流污染物及顆粒物的管控。此外,為了保證黃光區(qū)內各個步驟的連續(xù)性和流程可控性,潔凈室系統(tǒng)還應該配備對潔凈度、溫度、濕度、壓差控制感應儀表及各類數(shù)據(jù)采集設備。最后,半導體凈化潔凈室黃光區(qū)的設計還應該充分考慮節(jié)能、環(huán)保和安全方面的因素,以最大限度地降低能耗和對環(huán)境造成的負面影響。

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